물품규격 확인서

입찰공고번호	견적 2512-3호		입찰명		진공 시스템 구축 부품 재료 구매
상호			대표자				(인)
담당자	성명			부서/직위
	휴대폰			이메일

수요부서 확인

(반도체실험실습실)

성명:

(인)

수요부서 확인자 의견

※ 입찰서 제출시 수요부서에 확인받은 본 물품규격 확인서를 반드시 첨부해야 함

- 첨부하지 않거나 수요부서 확인이 누락된 경우 낙찰대상에서 배제

품목번호	입찰공고 물품 규격 (수량)	제안 물품 규격 (수량)	공고규격 동일 여부	비고
1	진공 시스템 구축 부품 재료 (3종)	* 제조사 : * 모델명 :	Y / N
	XY축 Vacuum Stage (1식) - 부품 재료의 가동 범위 : X축 = 600 mm, Y축 = 400 mm (그림 참고) - Stage 이동을 수행할 때의 고진공 환경에서 동작이 가능한 Stepping Motor를 필수적으로 활용해야함. - XY축 Vacuum Stage 설치에 따른 컷오프 탐침에 의해 측정된 플라즈마 밀도 시변 영향성 없음을 사전 테스트 必 - 플라즈마 환경에서 표면 생성 나노입자 영향성 없음에 대한 사전 테스트 必 주요 사양 - XY축 Vacuum Stage 바깥 면은 Polishing과 E.P 코팅을 요함. - 본 XY축 Vacuum Stage에 대한 고진공 환경에서의 동작 테스트 요함. (1×10--6 Torr 이하) - 본 XY축 Vacuum Stage에 대한 플라즈마 환경에서의 동작 테스트 요함. (플라즈마 밀도 1X1010 cm--3 이상) Throttle Valve & Controller (1식) - Flange Size = ISO100 - Material = SUS304 - 플라즈마 방전 환경에서도 설정 압력을 신속 정확하게 조절 가능한 Controller를 필수적으로 활용해야함. (speed = 1.5 sec) - Throttle Valve & Controller 설치에 따른 컷오프 탐침에 의해 측정된 플라즈마 밀도 시변 영향성 없음을 사전 테스트 必 - 플라즈마 환경에서 표면 생성 나노입자 영향성 없음에 대한 사전 테스트 必 주요 사양 - 본 Throttle Valve & Controller에 대한 고진공 환경에서의 동작 테스트 요함. (1×10--6 Torr 이하) - 본 Throttle Valve & Controller에 대한 플라즈마 환경에서의 동작 테스트 요함. (플라즈마 밀도 1X1010 cm--3 이상) Turbo Pump (1식) - 고진공 환경 조성하기 위한 Pumping Speed = 2000 L/sec, blade 회전 속도 = 50000 rpm 도달이 요구됨. - Flange Size = ISO100 (그림 참고) - Turbo Pump 설치에 따른 컷오프 탐침에 의해 측정된 플라즈마 밀도 시변 영향성 없음을 사전 테스트 必 - 플라즈마 환경에서 표면 생성 나노입자 영향성 없음에 대한 사전 테스트 必 주요 사양 - 본 Turbo Pump에 대한 고진공 환경에서의 동작 테스트 요함. (1×10--6 Torr 이하) - 본 Turbo Pump에 대한 플라즈마 환경에서의 동작 테스트 요함. (플라즈마 밀도 1X1010 cm--3 이상) o 하자보증 : 납품·검수 후 1년 ※ 그밖의 세부사항은 입찰 규격서 등 입찰공고 자료에 따름	o o o

※ 물품규격 확인서 작성 유의사항

* 입찰공고된 규격 기준과 일치하는 품목으로 구성되어야 함

- 공고된 규격 기준과 동일한 경우 ‘공고규격과 동일 여부’ 표기

* 입찰서 제출시 본 물품규격 확인서를 반드시 첨부해야 함

- 규격 확인에 필요한 카탈로그, 제품사양서, 제작시방서, 도면, 사진이나 그 밖에 규격 검토에 필요한 증빙서류 포함

* 단종 등 불가피한 사유로 규격을 변경하여 제안하려는 경우에는 규격·품질·성능이 동등 이상인 품목으로 하며, 비고란에 사유를 명시

- 수요부서의 규격 확인에 필요한 카탈로그, 제품사양서, 제작시방서, 도면, 사진이나 그 밖에 규격 검토에 필요한 증빙서류를 제시하여 수요부서에 사전 입증·확인받아야 함

* 품목별로 구분하여 작성하며, 규격 검토자가 제안물품에 대해 알 수 있도록 주장비, 주변장비 및 부속품 등의 품명, 제조사, 모델명, 규격, 수량, 성능, 특징, 장단점, 제품인증 여부, 하자보증 및 A/S조건 등을 명시

* 수요부서의 물품규격 및 증빙서류 확인 결과, 동등 이상으로 인정되지 않는 경우에는 낙찰 후라도 선정을 취소하며, 입찰자는 이에 대한 이의를 제기할 수 없음