물품규격 확인서

입찰공고번호	견적 2510-3호		입찰명		Electrode Heater 제작·구매
상호			대표자				(인)
담당자	성명			부서/직위
	휴대폰			이메일

수요부서 확인

(반도체실험실습실)

성명:

(인)

수요부서 확인자 의견

※ 입찰서 제출시 수요부서에 확인받은 본 물품규격 확인서를 반드시 첨부해야 함

- 첨부하지 않거나 수요부서 확인이 누락된 경우 낙찰대상에서 배제

품목번호

입찰공고 물품 규격 (수량)

제안 물품 규격 (수량)

공고규격 동일 여부

비고

1

Electrode Heater (1식)

* 제조사 :

* 모델명 :

Y / N

품목명 [규격]	수량	단위
Electrode Heater	1	식
1) Electrode	1	EA
Size : 6 Inch
Material : AL6061 (Hard Anodizing)
2) Insulator Flange	1	EA
Size : 6 Inch
Material : Teflon
3) Shield Cover	1	EA
Size : 6 Inch
Material : AL6061 (Hard Anodizing)
4) Heater	1	EA
Size : 6 Inch
Material : Inconel
5) Ceramic Disk	1	EA
Size : 6 Inch
Material : ALN
6) Base Plate	1	EA
Size : 6 Inch
Material : AL6061 (Hard Anodizing)
7) Up/Down Bar	1	EA
Size : 6 Inch
Material : SUS316L
8) Cooling Plate	1	EA
Size : 6 Inch
Material : SUS316L

Electrode Heater 기본사양

1) 사이즈 : 6" 웨이퍼 기준

2) 재 질 : AL6061 , Inconel , ALN , SUS316L

3) 온 도 : Max. 700°C

4) 전 력 : Max. 2kW

5) 주파수 : 2 MHz

Electrode Heater 세부구성

1) Electrode : 6" , AL6061(Hard Anodizig)

2) Insulator Flange : 6" , 테프론

5) Ceramic Disk : 6" , ALN

4) 전 력 : Max. 2kW

5) 주파수 : 2 MHz

3) Shiled Cover : 6" , AL6061

(Hard Anodizing)

6) Base Plate : 6" , AL6061

(Hard Anodizing)

7) Up/Down Bar : 6" , SUS316L

8) Cooling Plate : 6" , SUS316L

※ 컷오프 탐침에 의해 측정된 플라즈마 밀도 시변 영향성 없음을 사전 테스트 必

o 하자보증 : 납품·검수 후 1년

※ 그밖의 세부사항은 입찰 규격서 등 입찰공고 자료에 따름

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※ 물품규격 확인서 작성 유의사항

* 입찰공고된 규격 기준과 일치하는 품목으로 구성되어야 함

- 공고된 규격 기준과 동일한 경우 ‘공고규격과 동일 여부’ 표기

* 입찰서 제출시 본 물품규격 확인서를 반드시 첨부해야 함

- 규격 확인에 필요한 카탈로그, 제품사양서, 제작시방서, 도면, 사진이나 그 밖에 규격 검토에 필요한 증빙서류 포함

* 단종 등 불가피한 사유로 규격을 변경하여 제안하려는 경우에는 규격·품질·성능이 동등 이상인 품목으로 하며, 비고란에 사유를 명시

- 수요부서의 규격 확인에 필요한 카탈로그, 제품사양서, 제작시방서, 도면, 사진이나 그 밖에 규격 검토에 필요한 증빙서류를 제시하여 수요부서에 사전 입증·확인받아야 함

* 품목별로 구분하여 작성하며, 규격 검토자가 제안물품에 대해 알 수 있도록 주장비, 주변장비 및 부속품 등의 품명, 제조사, 모델명, 규격, 수량, 성능, 특징, 장단점, 제품인증 여부, 하자보증 및 A/S조건 등을 명시

* 수요부서의 물품규격 및 증빙서류 확인 결과, 동등 이상으로 인정되지 않는 경우에는 낙찰 후라도 선정을 취소하며, 입찰자는 이에 대한 이의를 제기할 수 없음